Trion Technology Apollo Photoresist-Stripper

Er Kosten-der neue Stripping-Systeme, hat ein Upgrade auf ein unzumutbares Niveau. Trion hat sich gelöst, dieses kritische problem. Apollo-Stripping ist ein kompaktes, preiswertes, flexibles system, welches konfiguriert sein kann als eine 200-oder 300-mm-Bohrfutter. Mit einem RF-bias-Leistung, schwer zu entfernenden Schichten widerstehen können entfernt werden, in der niedrigen Temperatur. Wie es die Anwendung erfordert, kann dieses system setzen die Mikrowellen-Quelle(die sowohl zuverlässig und frei von typischen Mikrowellen-tuning Probleme)oder ICP-Technologie.