Basisdaten

Zustand	neu
Ort der Herkunft	United States of America
Marke	Phantom RIE

Die Phantom-RIE ist entworfen, um Forschungs-und Fehleranalyse-Labore mit state-of-the-art-plasma-etch-Fähigkeit mit single-Wafer, Werkzeuge oder Teile, die mit Fluor und Sauerstoff basierende Chemien. Das system hat ein kompaktes, Modulares design, gebaut auf einer platzsparenden Plattform.

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