Oracle-Produktions-Cluster-System

Der Oracle ist der kleinste und flexibelste Produktion voll-cluster-system auf dem Markt. Das system besteht aus einem zentralen Vakuum-Transport (CVT), Vakuum-Kassette Aufzüge und bis zu vier Prozess-Reaktoren. Dieser Prozess-Reaktoren sind angedockt an die zentrale loadlock und laufen im Produktions-Modus oder kann unabhängig betrieben werden. Das Orakel kann auch so konfiguriert werden, dass entweder der Laborumgebung (mit Einzel-wafer-loading) oder für die gesamte Produktion (mit Vakuum-Kassette Aufzüge). Weil die Oracle bietet Platz für bis zu vier separaten prozesskammern, es gibt viele mögliche Verfahrenskombinationen, einschließlich Asche, ätzen und Abscheidung Module. Prozesse sicher laufen, ohne Verschmutzung der Atmosphäre, da alle Kammern sind Vakuum-loadlocked.