| 条件 |
新的 |
| 出生地 |
United States of America |
| 牌子的名字 |
Oracle Production Cluster System |
Oracle是最小的和最灵活的充分的生产集群系统的市场。 该系统由中央真空运输(无级)、真空盒电梯和最多四个过程的反应堆。 这些过程的反应堆正在停靠中央装载锁闭装置和运行中的生产模式或者可以是独立操作。 Oracle也可以构成为环境实验室(单晶片加载)或全的生产(与真空盒电梯). 因为Oracle可容纳多达四个单独的进程分庭,有许多可能的进程的组合,包括灰、蚀刻和淀积的模块。 进程安全地运行,没有大气污染由于所有分庭的真空loadlocked的。