Кластерной Системы Производства Компании Oracle

Оракул-самый маленький и самый гибкий полный кластерной системы производства на рынке. Система состоит из Центрального пылесоса транспорта (вариатор), вакуумные, кассетные элеваторы и до четырех процесс реакторы. Эти процессы реакторы пристыковался к центральной loadlock и запустить в производство-режиме или могут работать самостоятельно. В Oracle также может быть сконфигурирован для работы либо в лабораторных условиях (при однократном нагружении пластины) или для полного производства (с вакуумной кассеты лифтов). Потому что Оракул вмещает до четырех отдельных технологических камер, существует много возможных комбинаций процесса, в том числе золы, травления и осаждения. Процессы надежно работать без загрязнения атмосферы со всех камер вакуума loadlocked.